【新版】

光电探测器,薄膜场效应加工制造工艺方法图文全套

作者：admin 来源：金鼎工业资源网更新时间：2021/9/6

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1、一种MSM光电探测器的制备方法及MSM光电探测器

[简介]：本套资料主要内容为一种MSM光电探测器的制备方法，该方法包括以下步骤：对晶体硅片表面进行清洁处理；对晶硅硅表面进行硫、硒或碲离子注入，将注入后的晶片退火，注入后硫、硒或碲元素的浓度应达到1016atomcm3；对硅片进行激光掺杂...

2、一种MSM光电探测器的制备方法及MSM光电探测器

[简介]：本套资料主要内容为一种雪崩光电探测器和提高雪崩光电探测器高频特征的方法，所述雪崩光电探测器用于探测目标探测光，并包括纵向依次排列的吸收层8、第一电荷层61、倍增层5、第二电荷层62和渡越层。吸收层8用于吸收目标...

3、一种雪崩光电探测器和提高雪崩光电探测器高频特性的方法

[简介]：本套资料实施例主要内容为一种制造硅基增强*吸收光电探测器的方法，包括：提供硅衬底材料；在硅衬底材料上形成周期性槽状结构，获得*吸收增强层；在*吸收增强层上形成势垒增强层；在势垒增强层上形成电极层。本套资料的实施...

4、制造硅基增强*吸收光电探测器的方法及其光电探测器

[简介]：本套资料主要内容为一种p-型石墨烯薄膜n-型Ge肖特基结近*光电探测器及其制备方法，其特征是：以n-型Ge基底作为近*光电探测器的基区，在n-型Ge基底的下表面设置n-型Ge基底电极；在n-型Ge基底的上表面覆盖绝缘层，绝缘层的边...

5、p-型石墨烯薄膜n-型Ge肖特基结近*光电探测器及其制备方法

[简介]：一种光电探测器直线度和面响应均匀性的测量装置，由光源部分、器件部分和仪器设备三部分组成。光源部分由1053nm的带尾纤激光器、光纤衰减器和光纤准直器组成。器件部分由光阑、14波片、楔镜、反射镜、功率衰减器、偏振分光棱镜...

6、光电探测器直线度和面响应均匀性的测量装置

[简介]：本套资料主要内容为一种平面型雪崩光电探测器，其外延结构包括：吸收层，其用于吸收目标探测光，将目标探测光的光子转化为光生载流子；N型下电荷层，其用于调控所述雪崩光电探测器器件内部电场分布；倍增层，其用于倍增所述光生载流...

7、一种平面型雪崩光电探测器

[简介]：本套资料主要内容为一种雪崩光电探测器，其用于探测目标探测光，并包括纵向依次排列的吸收层3、第一电荷层41、倍增层5、第二电荷层42和渡越层6，其中第一电荷层41为N型掺杂，第二电荷层42为P型掺杂。吸收层3用于吸收...

8、一种雪崩光电探测器及其高频特性提高方法

[简介]：本套资料主要内容为一种单芯片集成用硅基复合增强型光电探测器的制作方法，其步骤是：在P衬底上注入形成N阱和P阱，在N阱内制作环形栅PMOS结构（P阱包围N阱），或在P阱内制作环形栅NMOS结构（N阱包围P阱），在N阱和P阱之间形成侧向环形...

9、一种单芯片集成用硅基复合增强型光电探测器的制作方法

[简介]：本套资料主要内容为一种光电探测器电路，包括光敏探测模块、微控制单元模块和数据输出模块，其特征在于：所述光敏探测模块与放大电路模块连接，所述放大电路模块与解调器模块连接，所述解调器模块与微控制单元模块连接，所述微控制...

10、一种光电探测器电路

[简介]：本套资料主要内容为一种光电探测器，包括高灵敏光探测模块、电信号处理模块和控制单元，其特征在于：所述高灵敏光探测模块和滤光模块连接，所述滤光模块和光电转换模块连接，所述光电转换模块和放大器模块连接，所述放大器模块和电...

11、一种光电探测器

[简介]：本套资料主要内容为一种光电探测器系统，包括光敏探测模块、单片微处理模块和信号输出模块，其特征在于：所述光敏探测模块连接调制器模块，所述调制器模块连接滤波整形稳压电路模块，所述滤波整形稳压电路模块连接单片微处理模块，...

12、一种光电探测器系统

[简介]：基于光电探测器阵列的玻璃外形检测装置，包括对玻璃进行钢化加工处理的加热炉、设置在加热炉两侧的上片台、钢化冷却段和下片台、用于控制钢化炉工作过程的控制系统和光源，在辊道传送机构的下方还设有用于接收光强度分布信...

13、基于光电探测器阵列的玻璃外形检测装置

[简介]：本套资料主要内容为一种以黑硅为光敏层的Si-APD光电探测器及其制备方法，属于光电探测技术领域。所述光电探测器包括硅本征衬底1、位于硅本征衬底1上表面中央的N+区2、位于N+区下方的P型区3、位于硅本征衬底上表面四周的环形N型区...

14、以黑硅为光敏层的Si-APD光电探测器及其制备方法

[简介]：本套资料主要内容为一种光电探测器制作中锌的扩散装置及其扩散方法，该装置包括加热炉、两端封闭的石英管、气体控制系统、真空系统、用以容置扩散源及待扩散的外延片的石英舟以及用以推送该石英舟进入石英管的真空推进装置，该石英...

15、一种光电探测器制作中锌的扩散装置及其扩散方法

[简介]：本套资料提供一种采用单一光电探测器的激光光强分布精确测量系统，包括激光光源、数字微镜器件、数字微镜器件控制模块、平凸透镜、光电探测器、信号采集装置及计算机。激光光斑投射到数字微镜器件的微镜阵列上，经微镜阵列反射，...

16、一种采用单一光电探测器的激光光强分布精确测量系统

[简介]：本套资料主要内容为一种具有双MOS结构的光电探测器，主要解决了光电探测器的响应度与响应速度之间制约关系的问题。该光电探测器自上而下依次包括：透明的导体氧化物层（1），上二氧化硅层（2），硅本征层（3），下二氧化硅层（4），金属层（...

17、双MOS结构的光电探测器

[简介]：本套资料主要内容为一种谐振腔式的双MOS光电探测器，主要解决了光电探测器响应速度低的问题。该光电探测器自上而下依次包括：上布拉格反射镜（1），上透明导体氧化物层（2），上二氧化硅层（3），硅本征层（4），下二氧化硅层（5），下透明导体...

18、谐振腔式的双MOS光电探测器

[简介]：本套资料公开的一种硅基光波导集成光电探测器。叠在第一硅衬底上的第一平板波导和第一脊型波导，第一平板波导上的多排通孔分布在第一脊型波导两侧，多排通孔下方的第一硅衬底有空腔，形成隔离衬底泄漏的空气隔离区，构成无源...

19、一种硅基光波导集成光电探测器

[简介]：本套资料涉及一种光电探测器芯片制作方法，采用湿法刻蚀隔离成型工艺取代现有的化合物半导体光电探测器芯片加工中干法刻蚀隔离成型工艺；采用以双苯基环丁烯钝化工艺取代现有的化合物半导体光电光电探测器芯片加工中化学气...

20、基于免等离子工艺降低暗电流的光电探测器芯片制作方法

[简介]：本套资料主要内容为一种中*光电探测器驱动电路、探测器组件及探测器组件阵列，采用与测量探测器暗电阻特性相接近的补偿探测器及其驱动电路，实现了对探测器随环境温度基线漂移的补偿，降低了输出基线的变化幅值，减小了其对光...

21、一种微纳米线阵列结构紫外雪崩光电探测器及其制备方法

22、一种微纳米线阵列结构紫外雪崩光电探测器及其制备方法

23、光电探测器和辐射探测器

24、带有相关双采样功能的高增益光电探测器单元读出电路

25、一种硅基光电探测器及制备方法和用途

26、集成有波导的石墨烯光电探测器

27、一种光电探测器

28、光电探测器及其制作方法

29、一种光电探测器绝对光谱响应的校准方法及其装置

30、MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器

31、新型绿色环保透过式光电探测器结构

32、具有改善的量子效率的光电探测器

33、一种制作偏振敏感光电探测器的方法

34、具有可控制的光谱响应的光电探测器

35、一种量子效应光电探测器与读出电路的封装结构

36、基于异质结构吸收、倍增层分离GaN基雪崩光电探测器

37、一种PIN结构紫外雪崩光电探测器及其制备方法

38、一种量子效应光电探测器与读出集成电路的封装方法

39、硅基近*光电探测器结构及其制作方法

40、一种集成光电探测器的100GCFP光模块

41、用于垂直方向耦合的光电探测器的光波导结构

42、用于垂直方向耦合的光电探测器的光波导结构

43、2μm相干激光测风雷达系统中平衡式光电探测器

44、一种使用集成光电探测器的40GCFP光模块

45、基于双光电转换层异维异质结构的光电探测器

46、光谱选择性光电探测器及其制备方法

47、一种基于PtTiSiO2Si衬底的宽波段薄膜型光电探测器

48、无线激光通信装置中的阵列光电探测器

49、一种异质结型光电探测器及其制备方法

50、PtTiSiO2Si衬底的宽波段薄膜型光电探测器的制备方法

51、一种光电探测器、光电集成电路及光通信系统

52、一种基于标准CMOS工艺的叠层差分光电探测器

53、方酸单根纳米线和N型硅异质结光电探测器及制备方法

54、一种基于异质结构的吸收、倍增层分离的紫外雪崩光电探测器

55、Ⅱ类超晶格窄光谱*光电探测器材料的外延生长方法

56、光电探测器

57、一种基于宝石衬底的宽波段薄膜型光电探测器的制备方法

58、一种基于宝石衬底的宽波段薄膜型光电探测器

59、一种近*波段全硅基纳米光电探测器

60、近*波段全硅基纳米光电探测器

61、一种雪崩光电探测器信号补偿装置和方法

62、一种雪崩光电探测器信号补偿装置和方法

63、一种利用氧化铟锡纳米颗粒增效的近*光电探测器

64、一种利用氧化铟锡纳米颗粒增效的近*光电探测器

65、PN结薄膜晶体管非挥发光电探测器

66、一种并列型光电探测器

67、双垒量子阱结构半导体*光电探测器及其制造方法

68、高灵敏度量子效应光电探测器等效电路的建模方法

69、多象限光电探测器高低温测试系统

70、一种绝缘光电探测器TO-CAN组件

71、ZnO纳米晶金刚石薄膜异质结光电探测器的制备方法

72、集成式阵列光电探测器及采用该探测器的复用器模块

73、多象限光电探测器检测系统

74、一种基于胶体量子点及石墨烯为光电极的光电探测器及其制备方法

75、一种光电探测器绝对光谱响应率的标定方法

76、多波段光电探测器

77、光电探测器校准装置及其校准方法

78、一种PIN倒置结构紫外雪崩光电探测器及其制备方法

79、具有*响应的表面纳米点硅光电探测器结构的制作方法

80、AlGaN极化紫外光电探测器及其制作方法

81、基于异质集成和垂直光耦合的硅基InGaAsPIN光电探测器

82、基于异质集成和垂直光耦合的硅基InGaAsPIN光电探测器

83、一种以黑硅材料为光敏层的背照式Si-PIN光电探测器及其制备方法

84、ZnSe纳米光电探测器及其制备方法

85、PTCDAP-Si异质结光电探测器低阻欧姆电极芯片

86、一种光电探测器

87、波长可调谐光电探测器、光波长探测系统及方法

88、晶格匹配体系上裁剪带隙波长提高光电探测器性能的方法

89、一种低偏置电压下具有增益的硅光电探测器及其制备方法

90、无盲区、无光电串扰的硅象限光电探测器制作方法

91、双色紫光*光硅基复合光电探测器的制作方法

92、一种雪崩光电探测器及光能检测装置

93、一种基于胶体量子点的*光电探测器及其制备方法

94、光电探测器阵列组件

95、可见近*光电探测器

96、半导体光电探测器元件和半导体装置

97、一种黑硅MSM结构光电探测器及其制备方法

98、一种提高半导体光电探测器短波响应度的技术

99、光电探测器元件

100、*光电探测器光谱响应率测量装置

101、一维光栅太赫兹量子阱光电探测器响应率的优化方法

102、一维光栅太赫兹量子阱光电探测器响应率的优化方法

103、一种二氧化钛紫外光电探测器的制备方法

104、HPT结构的InAsGaSb超晶格*光电探测器

105、一种InAsGaSb超晶格*光电探测器及其制作方法

106、光电探测器的数字合金吸收体

107、对光电倍增管的非线性响应进行修正的方法及基于该方法获得的光电探测器和分光光度计

108、光电探测器探头结构及使用其的辐照均匀性测试仪

109、光电探测器前置放大器电路频响参数测试系统和测试方法

110、用于光电单片集成的硅基光电探测器及其制备方法

111、具有低暗电流特性的谐振腔增强型光电探测器

112、高量子效率多工作波长谐振腔增强型光电探测器

113、光电探测器固定装置

114、用于制备有机太阳能电池和有机光电探测器用光活化层的部花青

115、一种实现高光谱选择性光电探测器的方法

116、一种光电探测器密封盒

117、数字化光电探测器读出电路

118、判定无上反射镜谐振腔增强型光电探测器有效腔模的方法

119、准平面高速双色铟镓砷光电探测器及其制造方法

120、光电探测器以及其制造方法

121、InGaAsInP平面型光电探测器扩散结的检测方法

122、InGaAsInP平面型光电探测器扩散结的检测方法

123、基于双控制栅MOSFET结构的光电探测器

124、金刚石薄膜场效应光电探测器的制备方法

125、一种光电探测器读出电路的设计方法

126、动态阻抗光电探测器接收器电路

127、光电探测器耦合并快速固定的方法及其PCB板

128、LED诱导光纤型集成PIN光电探测器的微型荧光检测器

129、紫外线用光电探测器及其制造方法

130、具有减小的相位*误差的*空间集成光电探测器

131、碲铟汞光电探测器及其肖特基结构中介质膜的制备方法

132、用于超快低功率光电探测器的动态阻抗接收器电路

133、具有多个光电探测器的扫描光谱仪

134、具有多个光电探测器的扫描光谱仪

135、具有横向扩散结的台面型光电探测器

136、采用环状光电探测器研制的影像寻边器

137、倏逝波耦合型单一载流子行波光电探测器的制作方法

138、具有化合价修正吸附物区域的光电探测器及其制备方法

139、基于四象限光电探测器的激光打靶器

140、GaAs基InAsGaSb超晶格近*光电探测器及其制作方法

141、一种MgZnO紫外光电探测器的制备方法

142、一种MgZnO紫外光电探测器的制备方法

143、具有暗电流校正的光电探测器

144、一种采用CMOS工艺制作的差分硅光电探测器

145、带平面螺旋电感的CMOS硅光电探测器

146、光电探测器转台

147、无应变InAlGaNGaNPIN光电探测器

148、半导体光电探测器和辐射检测装置

149、半导体光电探测器和辐射检测装置

150、半导体光电探测器芯片结构

151、光功率光电探测器

152、光纤陀螺用的光电探测器幅频特性测试方法

153、带光纤定位槽的斜面接收光电探测器及其阵列的制作方法

154、一种接收有源区位于斜面上的光电探测器的制造方法

155、P+PIN硅光电探测器

156、光盘驱动器和光电探测器电路

157、一种斜面光接收的光电探测器

158、双光路光电探测器及其检测光衰减量的方法

159、具有光电探测器的集成生物传感装置

160、一种δ掺杂4H-SiC雪崩紫外光电探测器及其制备方法

161、具有光电探测器阵列和样品位点阵列的集成装置

162、具有光电探测器阵列和样品位点阵列的集成装置

163、半球形和球形双光子响应半导体光电探测器

164、氮化镓基共振腔增强型紫外光电探测器及制备方法

165、单光电探测器共焦激光三角测量装置

166、一种PIN结构4H-SiC紫外光电探测器

167、δ掺杂4H-SiCPIN结构紫外光电探测器及其制备方法

168、4H-SiC雪崩光电探测器

169、4H-SiC雪崩光电探测器及其制备方法

170、像素传感器以及形成与掩埋光电探测器的接触的方法

171、高密光盘读取头光电探测器位置的调整方法

172、制作541纳米窄带通光电探测器的方法

173、光电探测器和用来提高收集的N-层结构

174、低噪声半导体光电探测器

175、碲铟汞光电探测器

176、碲铟汞光电探测器芯片制作方法

177、探测波长可调的太赫兹光电探测器

178、一种波导共振增强型光电探测器

181、光电探测器

182、光电探测器

183、深亚微米CMOS工艺电感补偿型光电探测器及制作方法

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