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1、多晶硅锭制造装置、多晶硅锭的制造方法及多晶硅锭
[简介]： 本套资料提供一种能够减少底部的氧浓度局部变高的部分来大幅提高多晶硅的生产成品率的多晶硅锭制造装置、多晶硅锭的制造方法及多晶硅锭。本套资料的多晶硅锭制造装置（10），具有：截面呈矩形的坩埚（20）；配设于该坩埚（20）上方的...
2、多晶硅锭制造装置、多晶硅锭的制造方法及多晶硅锭
[简介]： 本套资料提供从反应炉的冷却中使用的冷却介质中高效地回收热量、并且能够减少使多晶硅在反应炉内析出时由反应炉内壁混入的掺杂剂杂质而制造高纯度的多晶硅的技术。使用温度高于标准沸点的热水15作为供给到反应炉10中的...
3、多晶硅制造系统、多晶硅制造装置及多晶硅的制造方法
[简介]： 本套资料涉及多晶硅的制造方法，其中，对反应炉内的硅芯棒进行通电而使硅芯棒发热，通过对硅芯棒供给包含氯硅烷类的原料气体，从而在硅芯棒的表面使多晶硅析出，作为棒而生长。该多晶硅的制造方法具有：前半部分工序，在以高压大...
4、多晶硅的制造方法、多晶硅的制造装置、和多晶硅
[简介]： 本套资料提供用于在得到高纯度的多晶硅的同时、将通过制造多晶硅而产生的热量在价值高的状态下进行回收的技术。反应炉10的内壁11具有两层结构，在与腐蚀性的工艺气体接触的炉内侧设置有由耐腐蚀性高的合金材料构成的耐...
5、多晶硅制造用反应炉、多晶硅制造系统及多晶硅的制造方法
[简介]： 本套资料提供了一种多晶硅铸锭炉和利用所述多晶硅铸锭炉制备多晶硅铸锭的方法。本套资料中所述多晶硅铸锭炉包括隔热笼提升机构、上炉体、隔热笼、坩埚组件、定向助凝块、下炉体、支撑柱和超声波发生器，所述超声波发生器设置于下炉...
6、多晶硅铸锭炉与制备均匀细小晶粒多晶硅铸锭的方法
[简介]： 本套资料主要内容为一种多晶硅层的制作方法和多晶硅薄膜晶体管的制造方法，涉及显示领域，该方法形成的多晶硅层晶化率高、晶粒均匀、晶界缺陷少，从而可改善多晶硅薄膜晶体管的电学性能，提高多晶硅薄膜晶体管的可靠性。本套资料所述...
7、多晶硅层的制作方法和多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
[简介]： 本套资料涉及多晶硅碎块，其表面上的碳浓度为0.5至35ppbw。用于对在表面上具有碳污染物的多晶硅碎块进行净化的方法，其包括在反应器中在350至600℃的温度下对多晶硅碎块实施热处理，其中多晶硅碎块在热处理期间在惰性气体气氛...
8、多晶硅碎块以及用于净化多晶硅碎块的方法
[简介]： 一种多晶硅电阻器结构及其制造方法、多晶硅电阻器。多晶硅电阻器结构制造方法包括：在衬底的隔离区上形成第一多晶硅层图形；在第一多晶硅层上形成氮化硅层图形，氮化硅层图形中包括第一凹陷部和第二凹陷部，并在第一凹陷部和...
9、多晶硅电阻器结构及其制造方法、多晶硅电阻器
[简介]： 一种多晶硅电阻器结构及其制造方法、多晶硅电阻器。多晶硅电阻器结构制造方法包括：在硅片中形成隔离区；在隔离区上形成第一多晶硅层的侧壁及第一多晶硅层；在第一多晶硅层上形成隔离物及第二多晶硅层，其中所述隔离物与第二...
10、多晶硅电阻器结构及其制造方法、多晶硅电阻器
[简介]： 本套资料提供了一种多晶硅电阻器结构及其制造方法、多晶硅电阻器。在衬底上沉积第一多晶硅层；在第一多晶硅层上沉积氮化硅层，并对氮化硅层进行刻蚀以在氮化硅层中形成第一凹陷部和第二凹陷部，从而将氮化硅层分成三部分；在氮...
11、多晶硅电阻器结构及其制造方法、多晶硅电阻器
[简介]： 本套资料涉及低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法及利用该方法制备的低温多晶硅薄膜晶体管，在基板上生成缓冲层，图案化多晶硅层，对多晶硅层进行一定量的离子注入或者不注入以形成薄膜晶体管的沟道区；沉积栅极绝缘层，第一离子...
12、低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法、低温多晶硅薄膜晶体管
[简介]： 一种真空循环精炼太阳能级多晶硅设备及太阳能级多晶硅提炼方法，该设备包括真空脱气炉与循环法真空处理炉。利用置于真空脱气炉内的盛硅桶装载液态硅原料，再控制真空脱气炉与循环法真空处理炉的压力，配合一惰性气体导入装...
13、真空循环精炼太阳能级多晶硅设备及太阳能级多晶硅提炼方法
[简介]： 本套资料提供一种多晶硅晶体管制造方法及多晶硅晶体管、显示器件，为解决现有技术中存在的，多晶硅晶体管源极及漏极-半导体接触电阻偏高的问题，该方法包括，形成多晶硅层，在多晶硅层上形成高功函接触层，在高功函接触层上形成...
14、多晶硅晶体管制造方法及多晶硅晶体管、显示器件
[简介]： 本套资料主要内容为一种多晶硅TFT、多晶硅阵列基板及其制备方法、显示装置，属于液晶显示领域，为解决现有技术中掩膜版数量过多，工艺复杂且成本过高的问题而设计。一种多晶硅TFT的制备方法，所述多晶硅TFT包括掺杂区域，包括如下步...
15、多晶硅TFT、多晶硅阵列基板及其制备方法、显示装置
[简介]： 本套资料提供一种用于生产多晶硅的流化床反应器及制备多晶硅的方法，包括：流化床反应器外壳，所述流化床反应器外壳顶部设有种子硅进料口及尾气出口；所述流化床反应器外壳底部设有产品颗粒硅出料口；所述颗粒硅出料口与气体...
16、用于生产多晶硅的流化床反应器及制备多晶硅的方法
[简介]：本技术涉及一种多晶硅铸锭炉及多晶硅铸锭炉排杂结构，该多晶硅铸锭炉的炉体内设有热场保温层，在热场保温层的顶部保温层和或侧部保温层设有至少一用于排除杂质气体的排气孔。本实用新型通过在热场的顶部保温层和或...
17、多晶硅铸锭炉排杂结构及多晶硅铸锭炉
[简介]： 本套资料涉及一种热能的回收利用方法及系统，尤其是一种多晶硅还原工艺中热能的回收利用方法及系统，还涉及利用该方法和系统的多晶硅还原工艺。本套资料最大程度的利用了还原尾气所携带的全部热量，相比传统工艺，降低了还原系...
18、多晶硅还原工艺中热能的回收利用方法、系统及利用该方法和系统的多晶硅还原工艺
[简介]： 本套资料提供一种太阳能电池用的多晶硅锭铸造用铸模、多晶硅锭铸造用铸模的制造方法及多晶硅锭的铸造方法，使得可以抑制来自铸模主体的物质向熔融多晶硅移动，同时实现降低生产成本的目的。其中，多晶硅锭铸造用铸模以二氧化...
19、多晶硅锭铸造用铸模及其制造方法和多晶硅锭的铸造方法
[简介]： 本套资料提供了一种冶金法太阳能多晶硅提纯用中频感应炉及多晶硅提纯方法，中频感应炉炉体的中部为圆柱形，圆柱形两侧的炉体上分别设有一个短炉嘴和一个长炉嘴，在长炉嘴下部的炉体上设有吹气装置。方法是，首先配备两台不同...
20、冶金法太阳能多晶硅提纯用中频感应炉及多晶硅提纯方法
[简介]： 本套资料提供了一种冶金法生产太阳能多晶硅用定向凝固器及多晶硅生产方法，所述定向凝固器炉壳内依次设有保温膨胀层、耐火层、高纯石英粉涂层和氮化硅涂层，石墨加热板设置在炉壳的上部，所述底座内设有通气或者通水的管路。方...
21、多晶硅锭及其制备方法、多晶硅片和多晶硅铸锭用坩埚
22、多晶硅锭及其制备方法、多晶硅片和多晶硅铸锭用坩埚
23、多晶硅的破碎装置及多晶硅破碎物的制造方法
24、多晶硅的破碎装置及多晶硅破碎物的制造方法
25、一种有效提高多晶硅产量的多晶硅还原炉油夹套
26、装有多晶硅插片隔热层的多晶硅还原炉节能装置
27、装有多晶硅插片隔热层的多晶硅还原炉节能装置及方法
28、一种多晶硅铸锭炉底部冷却装置和使用该冷却装置的多晶硅铸锭炉
29、多晶硅的破碎装置以及多晶硅破碎物的制造方法
30、多晶硅的破碎装置以及多晶硅破碎物的制造方法
31、多晶硅的破碎装置以及多晶硅破碎物的制造方法
32、多晶硅的破碎装置以及多晶硅破碎物的制造方法
33、多晶硅的破碎装置以及多晶硅破碎物的制造方法
34、多晶硅制造装置及利用该装置的多晶硅制造方法
35、多晶硅制造装置以及多晶硅制造方法
36、多晶硅制造装置及多晶硅的制造方法
37、太阳能电池中多晶硅腐蚀液及多晶硅腐蚀工艺
38、多晶硅铸锭铸造用铸模及其制造方法、以及多晶硅铸锭铸造用铸模的脱模材料用氮化硅粉末及含有该粉末的浆料
39、多晶硅棒以及多晶硅棒的制造方法
40、一种多晶硅铸锭炉热场及多晶硅铸锭炉
41、一种节能多晶硅还原炉及多晶硅的制造方法
42、一种节能多晶硅还原炉及多晶硅的制造方法
43、内壁安装凹形镜面的多晶硅还原炉及多晶硅还原炉用凹形镜面
44、多晶硅还原炉及多晶硅还原炉内壁安装镜面的操作方法
45、多晶硅铸锭炉和多晶硅铸锭方法
46、多台多晶硅还原炉生产多晶硅的反应系统及操作方法
47、多晶硅锭的制造方法及多晶硅锭
48、多晶硅锭的制造方法及多晶硅锭
49、多晶硅块材的制造方法、多晶硅片的制造方法及多晶硅块材
50、多晶硅的制造方法及多晶硅制造用的反应炉
51、多晶硅的制造方法及多晶硅制造用反应炉
52、一种多晶硅生产装置及多晶硅生产方法
53、多晶硅太阳电池减反射膜制备方法及多晶硅太阳电池
54、多晶硅制造用芯线支架及多晶硅的制造方法
55、多晶硅块及多晶硅块的制造方法
56、冶金法制备太阳能级多晶硅的方法及该方法制备的多晶硅
57、多晶硅的清洗方法和清洗装置，以及多晶硅的制造方法
58、多晶硅提纯方法及用于多晶硅提纯的坩埚、提纯设备
59、一种从单多晶硅切割料浆中回收太阳能级多晶硅的方法
60、默认多晶硅间距设计规则下的混合多晶硅间距单元设计结构及系统
61、一种多晶硅控档片、以及多晶硅控档片的回收方法
62、一种多晶硅控档片、以及多晶硅控档片的回收方法
63、多晶硅反应炉和多晶硅的制备方法
64、多晶硅的洗净方法和洗净装置以及多晶硅的制造方法
65、多晶硅-绝缘层-多晶硅电容和高阻多晶硅器件及制作方法
66、掺杂多晶硅的平坦化方法以及多晶硅浮栅的制作方法
67、低温多晶硅的制作方法、低温多晶硅薄膜和薄膜晶体管
68、形成多晶硅的方法和采用多晶硅的薄膜晶体管及其制法
69、生产多晶硅的装置和方法以及多晶硅的锭和片
70、多晶硅的制备方法及多晶硅的制备设备
71、一种多晶硅纯度优化设备
72、一种利用多晶硅生产残液与赤泥制备聚硅酸铝的方法
73、去除多晶硅中硼的方法
74、氮化硅溶液及其制备方法、多晶硅铸锭用坩埚及其制备方法
75、多晶硅旋转凝固分离杂质的方法
76、多晶硅定向凝固诱导流动抑制杂质反扩散的方法
77、一种多晶硅C角毛刷抛光机
78、在沟槽内形成多晶硅的方法
79、多晶硅介质熔炼时连续加渣、排渣装置
80、多晶硅介质熔炼时管道式连续加渣方法
81、多晶硅铸锭硅固液分离方法及设备
82、多晶硅铸锭硅固液分离方法及设备
83、多晶硅铸锭硅真空固液分离方法及分离设备
84、高纯中空硅材料、多晶硅铸锭硅真空固液分离方法及设备
85、多晶硅层的形成方法
86、一种改进多晶硅基薄膜连续性和表面形貌的方法
87、一种多晶硅铸锭炉系统
88、一种多晶硅太阳电池减反射膜及其制备方法
89、多晶硅的铸锭工艺
90、一种低成本高效多晶硅基薄膜的制备方法
91、一种多晶硅的制备方法
92、改善多晶硅结晶率的方法及装置
93、一种利用多晶硅副产物制备镁硅基粉体热电材料的方法
94、多晶硅阵列基板上多晶硅薄膜电阻的测试方法
95、一种多晶硅的铸锭方法
96、多晶硅还原炉尾气在线检测样品处理装置
97、多晶硅破碎包装流水线及方法
98、通过钠还原四氟化硅制备太阳能级多晶硅的装置和方法
99、一种多晶硅铸锭炉加热棒拆卸装置
100、调整低温多晶硅晶体管阀值电压的方法
101、多晶硅铸锭炉
102、多晶硅铸锭炉
103、一种降低阴影和硬质点的多晶硅铸锭热场结构及方法
104、一种多晶硅和非晶硅太阳能电池板互相转换的太阳能充电器
105、一种用于多晶硅铸锭炉的隔热笼
106、一种多晶硅颗粒制备系统及制备方法
107、多晶硅锭及其制造方法
108、多晶硅碱性制绒方法
109、多晶硅铸锭炉氩气环流排杂装置
110、一种新型多晶硅还原炉自动升降电加热器
111、用于颗粒多晶硅清洗的装置
112、以高能辐射源形成多晶硅的方法
113、一种多晶硅还原炉尾气硅粉收集装置及其使用方法
114、一种多晶硅薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板
115、多晶硅锭及其制备方法和多晶硅片
116、一种用于连续生产高纯多晶硅的电解精炼槽
117、一种半连续熔盐电解制备太阳级多晶硅材料的方法及装置
118、多晶硅铸锭炉热场结构
119、一种选择性*极多晶硅太阳电池的制备方法
120、廉价粉末多晶硅基纳米线的制备方法
121、低温多晶硅晶体管的制作方法
122、低温多晶硅晶体管的制作方法
123、一种多晶硅的硅芯母料
124、用于在沟槽功率MOSFET中优化端接设计的不对称多晶硅栅极的制备方法
125、一种多晶硅铸锭炉底部电磁感应加热系统
126、一种多晶硅铸锭炉的顶部加热器及顶部保温板除尘装置
127、一种多晶硅铸锭设备及其氩气切换装置
128、基于多晶硅掩膜的硅波导制备方法
129、一种多晶硅的制备方法
130、一种去除多晶硅中的磷的方法
131、一种多晶硅除硼的方法
132、一种定向凝固去除多晶硅中金属杂质的方法以及装置
133、一种抬包精炼制备低磷硼多晶硅的方法
134、一种去除多晶硅中金属杂质的方法以及装置
135、一种电泳辅助的太阳能级多晶硅提纯方法
136、一种制备太阳能级多晶硅的方法
137、一种多晶硅碎料取料夹具
138、一种156多晶硅缺角片的处理方法
139、制备高纯度多晶硅的方法与装置
140、多晶硅生产尾气的处理方法
141、一种高纯多晶硅制备装置
142、一种高纯多晶硅制备装置
143、一种多晶硅与碲化镉薄膜双结太阳能电池板及制备工艺
144、一种用晶体硅切割废料电热冶金制备太阳能多晶硅的方法
145、多晶硅铸锭工艺
146、多晶硅专用阀
147、多晶硅废气淋洗系统
148、一种多晶硅太阳能电池切片方法
149、多晶硅废气淋洗系统
150、用于多晶硅铸锭炉的圆周径向型热交换台
151、掺杂剂含量低的多晶硅块材
152、多晶硅生产中副产物的回收系统以及回收方法
153、多晶硅生产中副产物的回收系统
154、多晶硅块数控磨床
155、多晶硅块数控磨床
156、一种用于多晶硅生产提高还原沉积反应效率的方法
157、多晶硅多线切方机砂浆中央分配装置
158、一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置
159、一种多晶硅铸锭石英坩埚检测装置
160、一种多晶硅绒面结构及其制绒方法
161、多晶硅块磨床磨头的磨削液分配结构
162、多晶硅块磨床磨头的磨削液分配结构
163、多晶硅块磨床用回转夹具
164、多晶硅块切断机用的气缸平衡式切割头
165、多晶硅块磨床的主轴装置
166、一种铸造多晶硅锭的热场结构
167、一种铸造多晶硅锭的热场结构
168、一种多晶硅还原炉高频加热电源逆变主电路
169、一种多晶硅还原炉高频加热电源逆变主电路
170、半导体层结构、多晶硅薄膜晶体管、制作方法、显示装置
171、多晶硅副产物中二氯二氢硅的液相氯化方法
172、多晶硅铸锭装置和铸锭方法
173、一种用于铸造高效多晶硅锭的方法
174、一种提高铸造多晶硅锭质量的方法
175、一种新型多晶硅铸锭去杂装置
176、一种多晶硅还原炉高频加热电源逆变主电路
177、用于测定多晶硅表面污染的方法
178、具有可编程可擦除的单一多晶硅层非易失性存储器
179、可编程可抹除的单一多晶硅层非挥发性存储器的制造方法
180、多晶硅还原炉罩清洗平台
181、一种多晶硅料生产还原炉用电极保护罩的清洗方法
