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薄膜氢气制备工艺技术合集图文全套

作者:admin    来源:金鼎工业资源网       更新时间:2019/6/3 星期一

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1、一种用于氢气传感器的镁合金薄膜及其制备方法
[简介]: 本发明公开了一种用于氢气传感器的镁合金薄膜及其制备方法,所述的镁合金薄膜包括由下至上依次设置的基片、镁合金薄膜材料层、催化层和保护层。该薄膜的制备包括:对基片进行表面清洁预处理;采用直流磁控溅射法在经步骤a预...

2、一种用于氢气传感器的镁合金薄膜及其制备方法
[简介]: 本发明公开了一种基于场*原理的碳纳米管薄膜氢传感器和氢气检测方法,包括有相互绝缘间隔的电子*阴极和阳极,所述的电子*阴极包括有导电基底以及生长或沉积于导电基底上碳纳米管薄膜,另外,本发明利用场*电流...

3、一种基于场*原理的碳纳米管薄膜氢传感器和氢气检测方法
[简介]: 一种梯度氢气法生长绒面结构ZnO-TCO薄膜,以玻璃衬底为基片,以ZnO:Ga2O3或ZnO:Al2O3作为靶材原料,溅射气体为Ar气,溅射过程中引入氢气且在溅射镀膜周期中氢气流量呈梯度变化,利用磁控溅射镀膜技术制备绒面结构ZnO-TCO薄...

4、一种梯度氢气法生长绒面结构ZnO-TCO薄膜及应用
[简介]: 本发明公开了一种碳纳米管薄膜三电极氢气传感器及其浓度测量方法,传感器包括三个依次分布的第一、第二和第三电极,第一电极设有透气孔,其内表面粘接有分布着碳纳米管薄膜的基底;第二电极中心设有引出孔;第三电极板面设有...

5、碳纳米管薄膜三电极氢气传感器及其浓度测量方法
[简介]: 本发明涉及一种微型氢气传感器,具体涉及氢气传感器中钯-纳米二氧化锡薄膜状电极的制备与性能检测,是以氧化铝做底片,采用无电极电解的方法将钯和纳米二氧化锡沉积到底片上作为氢敏材料,本发明提供一种钯-纳米二氧化锡薄...

6、基于钯-纳米二氧化锡薄膜状电极的室温氢气传感器
[简介]: 一种氢气制造用过滤器的制造方法,过滤器使用的薄膜支持基板包括:金属基板;在金属基板一面上的多个柱状凸部;及在柱状凸部的非形成部位贯通金属基板地形成的多个贯通孔,柱状凸部的非形成部位的面积占柱状凸部形成面侧面...

7、用于氢气制造用过滤器的薄膜支持基板及氢气制造用过滤器制造方法
[简介]: 一种氢气制造用过滤器的制造方法,过滤器使用的薄膜支持基板包括:金属基板;在该金属基板的一个面上形成的多个柱状凸部;及在柱状凸部的非形成部位贯通金属基板地形成的多个贯通孔,柱状凸部的非形成部位的面积占柱状凸部...

8、用于氢气制造用过滤器的薄膜支持基板及氢气制造用过滤器制造方法
[简介]: 一种氢气制造用过滤器的制造方法,是使用薄膜支持基板的氢气制造用过滤器的制造方法,其特征是,薄膜支持基板包括:金属基板;在该金属基板的一个面上形成的多个柱状凸部;及在该柱状凸部的非形成部位以贯通金属基板的方式形...

9、用于氢气制造用过滤器的薄膜支持基板及氢气制造用过滤器制造方法
[简介]: 一种氢气制造用过滤器的制造方法,包括:给具有多个贯通孔的导电性基体材料的该贯通孔中填充树脂部件的填充工序;在所述导电性基体材料的一个面上,通过无电解电镀及真空成膜法中的任何一种,使Pd合金膜成膜,形成导电性基底...

10、用于氢气制造用过滤器的薄膜支持基板及氢气制造用过滤器制造方法
[简介]: 一种氢气制造用过滤器的制造方法,包括:在导电性基体材料的两面上,形成给定的抗蚀图案,以该抗蚀图案为掩模,从两面对所述导电性基体材料进行蚀刻,形成多个贯通孔的蚀刻工序;通过电解电镀形成Pd合金膜,以便将所述导电性基...

11、用于氢气制造用过滤器的薄膜支持基板及氢气制造用过滤器制造方法
[简介]: 在贯通孔堵塞工序中,利用磁铁把金属板附设在具有多个贯通孔的导电性基体材料的一个面上,在镀铜工序中,从没有附设金属板的导电性基体材料面的一侧,在导电性基体材料上和暴露在贯通孔内的金属板上形成镀铜层,填补贯通孔...

12、用于氢气制造用过滤器的薄膜支持基板及氢气制造用过滤器制造方法
[简介]: 在贯通孔堵塞工序中,利用磁铁把金属板附设在具有多个贯通孔的导电性基体材料的一个面上,在镀铜工序中,从没有附设金属板的导电性基体材料面的一侧,在导电性基体材料上和暴露在贯通孔内的金属板上形成镀铜层,填补贯通孔...

13、用于氢气制造用过滤器的薄膜支持基板及氢气制造用过滤器制造方法
[简介]: 在贯通孔堵塞工序中,利用磁铁把金属板附设在具有多个贯通孔的导电性基体材料的一个面上,在镀铜工序中,从没有附设金属板的导电性基体材料面的一侧,在导电性基体材料上和暴露在贯通孔内的金属板上形成镀铜层,填补贯通孔...

14、用于氢气制造用过滤器的薄膜支持基板及氢气制造用过滤器制造方法
[简介]: 本实用新型涉及一款热电薄膜氢气传感器。本实用新型借助射频磁控溅射技术制备出室温下具有较高Seebeck系数的Bi0.5Sb1.5Te3热电薄膜,将催化剂层在热电薄膜一端用导热胶粘结,并用银浆在热电薄膜两端将电导线引出电压信号...

15、热电薄膜氢气传感器
[简介]: 本发明公开了一种基于涡街与压电薄膜的氢气传感器及其制备方法。通过旋转涂覆方法,实现微米级压电薄膜的制备;之后,通过磁控溅射手段在微纳纤维上修饰气敏层与对照电极层;最后对复合压电膜极化封装组装部件实现基于涡街...

16、基于涡街与压电薄膜的氢气传感器及其制备方法
[简介]: 本发明涉及一种从合成气中回收高纯度的高压氢气的方法。将合成气与能将合成气分离成富氢的渗透物和贫氢的非渗透物的薄膜接触。将渗透物送至二氧化碳吸收塔。二氧化碳吸收塔用溶剂除去二氧化碳。将吸收塔的富二氧化碳的溶剂...

17、氢气循环和用薄膜除去酸性气体
[简介]: 本发明公开了一种氢气传感器用薄膜材料,包括基片、合金薄膜材料和保护薄膜;基片和保护薄膜夹覆着合金薄膜材料。也公开了一种氢气传感器用薄膜材料的制备方法。本氢气传感器用薄膜材料,其中的合金薄膜材料由亚微米或纳米晶...

18、氢气传感器用薄膜材料及其制备方法
[简介]: 一种采用氦氢气体混合共稀释法制备微晶硅锗薄膜的方法,包括下述步骤:1将带有T的玻璃衬底G放在真空室内,本底真空高于2吆-4Pa;2在向反应室通入反应气体硅烷和锗烷、稀释气体氦气和氢气的条件下,采用等离子体增强化学气...




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