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掺氧化锌薄膜的制备方法及生产工艺

1、一种刻蚀掺铝氧化锌薄膜的方法 有权 中国科学院电工研究所    摘要  一种刻蚀掺铝氧化锌薄膜的方法,利用加速器加速的粒子轰击刻蚀掺铝氧化锌薄膜(AZO)表面,步骤如下:第一步,将装有待刻蚀的掺铝氧化锌(AZO)薄膜的支架置于磁控溅射设备的真空腔室中,抽真空至真空腔室真空度低于10?3帕;第二步,向真空腔室通入惰性气体,惰性气体的流速为10?20sccm;第三步,调节真空腔室的抽气阀门,使真空腔室的气压为0.5?2.0Pa;第四步,打开阴极灯丝电源、接着打开加速极电源,最后打开中和灯丝电源,使电离惰性原子的阴极灯丝电流为0.1?2A,中和惰性离子的中和灯丝电流为5?15A。AZO薄膜上的Zn和O原子被轰击而离开薄膜,被轰击而离开薄膜的原子不断增加,实现对AZO薄膜的刻蚀。

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2、一种氮镁共掺杂的p型氧化锌薄膜 有权 溧阳华晶电子材料有限公司    摘要  本套资料公开了一种氮镁共掺杂的p型氧化锌薄膜,所述p型氧化锌薄膜中Mg的摩尔百分含量是5-11%,氮的摩尔百分含量是0.8-1.7%;其中,所述p型氧化锌薄膜在常温下,其压电常数d33大于16pC/N,其电阻率大于1.2×1010Ω·cm。

3 101698932 一种制备P型掺钴氧化锌薄膜的方法

4 100511739 δ掺杂制备P型氧化锌薄膜的方法

5 100372065 掺磷制备p型氧化锌晶体薄膜的装置

6 103866264 一种磷掺杂氧化锌薄膜的制备方法

7 103343335 掺硼氧化锌薄膜的制备方法

8 103151708 一种镁砷共掺杂p型氧化锌薄膜

9 102586741 一种掺杂氧化锌薄膜的制备方法

10 102304700 一种掺氮氧化锌薄膜的制备方法

13 106637118 一种掺铝氧化锌导电薄膜的制备方法

14 104746039 一种铝掺杂氧化锌薄膜的制备方法

15 103866264 一种磷掺杂氧化锌薄膜的制备方法

16 103166112 一种氮镁共掺杂的p型氧化锌薄膜

17 101798183 掺铝氧化锌薄膜的制备方法

18 101424653 一种氧化锌掺杂气敏薄膜的制备方法

19 104386734 一种掺铝氧化锌薄膜的制备方法

20 103451637 掺铝氧化锌薄膜及其制备方法

21 103151708 一种镁砷共掺杂p型氧化锌薄膜

22 102586741 一种掺杂氧化锌薄膜的制备方法


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