1、一种刻蚀掺铝氧化锌薄膜的方法 有权 中国科学院电工研究所 摘要 一种刻蚀掺铝氧化锌薄膜的方法，利用加速器加速的粒子轰击刻蚀掺铝氧化锌薄膜(AZO)表面，步骤如下：第一步，将装有待刻蚀的掺铝氧化锌(AZO)薄膜的支架置于磁控溅射设备的真空腔室中，抽真空至真空腔室真空度低于10?3帕；第二步，向真空腔室通入惰性气体，惰性气体的流速为10?20sccm；第三步，调节真空腔室的抽气阀门，使真空腔室的气压为0.5?2.0Pa；第四步，打开阴极灯丝电源、接着打开加速极电源，最后打开中和灯丝电源，使电离惰性原子的阴极灯丝电流为0.1?2A，中和惰性离子的中和灯丝电流为5?15A。AZO薄膜上的Zn和O原子被轰击而离开薄膜，被轰击而离开薄膜的原子不断增加，实现对AZO薄膜的刻蚀。
2、一种氮镁共掺杂的p型氧化锌薄膜 有权 溧阳华晶电子材料有限公司 摘要 本套资料公开了一种氮镁共掺杂的p型氧化锌薄膜，所述p型氧化锌薄膜中Mg的摩尔百分含量是5-11％，氮的摩尔百分含量是0.8-1.7％；其中，所述p型氧化锌薄膜在常温下，其压电常数d33大于16pC/N，其电阻率大于1.2×1010Ω·cm。
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